晶背减薄是指通过研磨晶圆背面以降低封装贴装高度,减小芯片封装体积,改善芯片的热扩散效率、电气性能、机械性能及减小划片的加工量。
晶背金属化是指通过物理或化学气相沉积在晶圆背面沉积Al、Ti、NiV、Ag、Sn等金属,有助于降低器件热阻,提高散热,保护晶体管结构。
通过自催化化学反应或置换反应在材料表面沉积金属薄膜的技术, 无需外部驱动电源。
在晶圆背面注入高浓度的杂质,形成一个重掺杂区,显著降低金属与半导体之间的接触电阻。
通过探针卡检测对芯片进行电性检测,提前筛选不良芯片,减少封装损耗的分选工序。